Molecular dynamics study of the effect of substrate temperature on the properties of SiO2 thin films

材料科学 薄膜 分子动力学 基质(水族馆) 化学工程 化学物理 动力学(音乐) 纳米技术 物理化学 复合材料
作者
Fedor V. Grigoriev,V. B. Sulimov,A.V. Tikhonravov
出处
期刊:Physica B-condensed Matter [Elsevier BV]
卷期号:722: 418035-418035
标识
DOI:10.1016/j.physb.2025.418035

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