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作者
Li Jiang,Jianwei Ben,Ke Jiang,Shanli Zhang,Tong Wu,Zikai Nie,Entao Zhang,Shunpeng Lü,Xiaojuan Sun,Dabing Li
出处
期刊：CrystEngComm
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
摘要
The surface morphology evolution mechanism depending on the thickness of sputtered AlN films is revealed, and smooth high-quality AlN films are successfully fabricated.
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