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Three anionic surfactants for corrosion inhibition in cobalt CMP: research on validity and mechanism

材料科学 腐蚀 钴 机制（生物学） 化学工程 冶金 认识论 工程类 哲学
作者
Fangyuan Wang,Shihao Zhang,Baimei Tan,Yong Shi,Xiaolong Wang,Haoyu Du,Renhao Liu,Xinyu Han
出处
期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier]
日期：2024-03-01 卷期号：: 104202-104202
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2024.104202
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