Functionalizing self-assembled monolayers to reduce interface scattering in ruthenium/dielectric for next-generation microelectronic interconnects

X射线光电子能谱 材料科学 单层 自组装单层膜 散射 分析化学(期刊) 化学工程 纳米技术 化学 有机化学 光学 物理 工程类
作者
Bin-Fu Hsu,Jia-You Sun,Yu-Lin Chen,Ming‐Yen Lu,Shou-Yi Chang,Pei Yuin Keng
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:645: 158870-158870 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2023.158870
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