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Projecting high depth-to-width aspect ratio of nanolithography with a four-layer metallic waveguide structure

纵横比（航空）光刻胶材料科学电介质波长光学纳米光刻表面等离子体子衰减图层（电子）分辨率（逻辑）等离子体子光电子学复合材料制作物理人工智能病理医学替代医学计算机科学

作者

Xuefeng Yang,Shuxia Zhang,Xiufang Hou,Jian Wang

出处

期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2015-08-07 卷期号：121 (1): 217-221 被引量：2

标识

DOI：10.1007/s00339-015-9412-9

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