Capacitive humidity sensor design based on anodic aluminum oxide

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作者
Youngdeuk Kim,Bong-Bu Jung,Hun-kee Lee,Hye-Jin Kim,Kun‐Hong Lee,Hyunchul Park
出处
期刊:Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier BV]
卷期号:141 (2): 441-446 被引量:167
标识
DOI:10.1016/j.snb.2009.07.007
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