A molecular dynamics study of deposition rate dependence of film morphology in the sputtering process

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作者
Shin‐Pon Ju,Cheng‐I Weng,Jee‐Gong Chang,Chi‐Chuan Hwang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:149 (2-3): 135-142 被引量:12
标识
DOI:10.1016/s0257-8972(01)01445-1
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