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Studies on the formation of microcrystalline silicon with PECVD under low and high working pressure

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作者
Guo Lihui,Lin Rongming
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2000-11-01 卷期号：376 (1-2): 249-254 被引量：32
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(00)01210-4
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