A 2-DOF piezoelectric platform for cross-scale semiconductor inspection

压电 半导体 比例(比率) 声学 材料科学 结构工程 工程类 物理 光电子学 量子力学
作者
Lusheng Yuan,Liang Wang,Rui Qi,Yan Li,Chuangye Liu,Gang Luo
出处
期刊:International Journal of Mechanical Sciences [Elsevier BV]
卷期号:284: 109765-109765 被引量:22
标识
DOI:10.1016/j.ijmecsci.2024.109765

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