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作者
Satoru Tanaka,Akihiro Ishii,M. Yamaguchi,Itaru Oikawa,Yusuke Yamazaki,Masaaki Imura,Hitoshi Takamura
出处
期刊：Vacuum
[Elsevier]
日期：2023-01-16
卷期号：210: 111839-111839
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.111839
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