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作者
Changjun Wu,
Piaoyang Zhao,
Qiaohua Wang,
G. Ye,
Zhifeng Liu,
Ri Pan
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2025-01-04
卷期号:93: 177-191
被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2025.01.001
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