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作者

Changjun Wu,Piaoyang Zhao,Qiaohua Wang,G. Ye,Zhifeng Liu,Ri Pan

出处

期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2025-01-04 卷期号：93: 177-191 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.precisioneng.2025.01.001

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