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Giant piezoresistive effect by optoelectronic coupling in a heterojunction

压阻效应 标度系数 异质结 材料科学 光电子学 半导体 碳化硅 应变计 联轴节(管道) 晶体管 纳米技术 复合材料 电气工程 电压 制作 病理 工程类 替代医学 医学
作者
Thanh Nguyen,Toan Dinh,Abu Riduan Md Foisal,Hoang‐Phuong Phan,Tuan‐Khoa Nguyen,Nam‐Trung Nguyen,Dzung Viet Dao
出处
期刊:Nature Communications [Nature Portfolio]
卷期号:10 (1): 4139-4139 被引量:70
标识
DOI:10.1038/s41467-019-11965-5
摘要

Enhancing the piezoresistive effect is crucial for improving the sensitivity of mechanical sensors. Herein, we report that the piezoresistive effect in a semiconductor heterojunction can be enormously enhanced via optoelectronic coupling. A lateral photovoltage, which is generated in the top material layer of a heterojunction under non-uniform illumination, can be coupled with an optimally tuned electric current to modulate the magnitude of the piezoresistive effect. We demonstrate a tuneable giant piezoresistive effect in a cubic silicon carbide/silicon heterojunction, resulting in an extraordinarily high gauge factor of approximately 58,000, which is the highest gauge factor reported for semiconductor-based mechanical sensors to date. This gauge factor is approximately 30,000 times greater than that of commercial metal strain gauges and more than 2,000 times greater than that of cubic silicon carbide. The phenomenon discovered can pave the way for the development of ultra-sensitive sensor technology.

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