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Microstructure of titanium coatings controlled by pulse sequence in multipulse HiPIMS

高功率脉冲磁控溅射材料科学溅射沉积微观结构钛腔磁控管涂层表面粗糙度等离子体溅射光电子学冶金薄膜复合材料纳米技术物理量子力学

作者

Pavel Souček,Jaroslav Hnilica,Peter Klein,Matej Fekete,Petr Vašina

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2021-08-18 卷期号：423: 127624-127624 被引量：12

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2021.127624

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