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Microstructure of titanium coatings controlled by pulse sequence in multipulse HiPIMS

高功率脉冲磁控溅射 材料科学 溅射沉积 微观结构 腔磁控管 涂层 表面粗糙度 等离子体 溅射 光电子学 冶金 薄膜 复合材料 纳米技术 物理 量子力学
作者
Pavel Souček,Jaroslav Hnilica,Peter Klein,Matej Fekete,Petr Vašina
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:423: 127624-127624 被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2021.127624

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