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Growth and characterization of Rhenium Nitride coatings produced by reactive magnetron sputtering

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作者
M. Arroyave,Gilberto Bejarano,Jorge David,Jorge Morales Hernández
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2021-06-27 卷期号：733: 138809-138809 被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2021.138809
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