Excellent diffusion barrier property of amorphous NbMoTaW medium entropy alloy thin films used in Cu/Si Connect System

材料科学 无定形固体 扩散阻挡层 退火(玻璃) 微观结构 晶界 合金 溅射沉积 薄膜 溅射 晶界扩散系数 复合材料 分析化学(期刊) 纳米技术 结晶学 化学 图层(电子) 色谱法
作者
Kun Hu,Qiang Hu,Xiandong Xu,S.H. Chen,Jiang Ma,Wanqing Dong
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:202: 111195-111195 被引量:19
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2022.111195
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