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Synthesis of Superconductive TaN Thin Films by Reactive DC Sputtering

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作者
Amanda Nieto,Mario Guzmán,A. Conde-Gallardo,O. Contreras
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
日期：2022-06-07 卷期号：51 (8): 4649-4658 被引量：6
标识
DOI：10.1007/s11664-022-09721-5
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