Impact of material anisotropy on ultrafast laser dicing of SiC wafers for enhancing efficiency and quality

晶片切割 薄脆饼 材料科学 超短脉冲 激光器 光电子学 各向异性 工程物理 纳米技术 光学 工程类 物理
作者
Rui Gao,Chunjin Wang,Qixian Zhang,Lingda Xiong,Qingzheng Zhang,Chen Jiang
出处
期刊:Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
卷期号:183: 112358-112358 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.optlastec.2024.112358
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