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Impact of material anisotropy on ultrafast laser dicing of SiC wafers for enhancing efficiency and quality

晶片切割薄脆饼材料科学超短脉冲激光器光电子学各向异性工程物理纳米技术光学工程类物理

作者

Rui Gao,Chunjin Wang,Qixian Zhang,Lingda Xiong,Qingzheng Zhang,Chen Jiang

出处

期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier]
日期：2024-12-21 卷期号：183: 112358-112358 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.optlastec.2024.112358

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