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Controlled corrosion behaviors of copper in oxidizer solutions for chemical mechanical polishing: Influence of the decomposition products
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作者
Pengfei Chang,
Zisheng Huang,
Yulong Chen,
Huiqin Ling,
Yunwen Wu,
Ming Li,
Tao Hang
出处
期刊：
Corrosion Science
[Elsevier BV]
日期：2024-08-06
卷期号：238: 112352-112352
被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.corsci.2024.112352
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