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Chemical vapor deposition of tin oxide: Fundamentals and applications

锡化学气相沉积氧化锡氧化物材料科学化学工程薄膜化学无机化学纳米技术冶金工程类

作者

A.M.B. van Mol,Yongkee Chae,Anthony H. McDaniel,Mark D. Allendorf

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2005-08-30 卷期号：502 (1-2): 72-78 被引量：75

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2005.07.247

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