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Experimental study on cluster-electrode electrochemical mechanical polishing of single-crystal silicon carbide wafers
材料科学
抛光
碳化硅
薄脆饼
冶金
电化学
碳化物
复合材料
硅
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作者
Xin Chen,
Rongji Zhuang,
Qinglei Ren,
Hongming Chen,
Shijie Li,
Yongle Liu,
Man Hoi Wong,
Jisheng Pan
出处
期刊：
Journal of Alloys and Compounds
[Elsevier BV]
日期：2026-03-27
卷期号：1062: 187582-187582
被引量：1
链接
edu.hk
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2026.187582
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