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Direct wafer bonding of GaN-SiC for high power GaN-on-SiC devices

材料科学光电子学外延薄脆饼热导率图层（电子）基质（水族馆）宽禁带半导体晶片键合碳化硅复合材料海洋学地质学

作者

Fengwen Mu,Yinghui Wang,Ran He,Tadatomo Suga

出处

期刊：Materialia [Elsevier BV]
日期：2018-09-25 卷期号：3: 12-14 被引量：28

标识

DOI：10.1016/j.mtla.2018.09.027

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