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Preparation of ZrC-SiC composite coatings by chemical vapor deposition and study of co-deposition mechanism

材料科学 沉积（地质） 复合数 化学气相沉积 扫描电子显微镜 化学工程 燃烧化学气相沉积 混合物理化学气相沉积 大气温度范围 复合材料 薄膜 纳米技术 碳膜 工程类 气象学 沉积物 古生物学 生物 物理
作者
Qiaomu Liu,Jia Liu,Xingang Luan
出处
期刊：Journal of Materials Science & Technology [Elsevier]
日期：2019-07-09 卷期号：35 (12): 2942-2949 被引量：31
标识
DOI：10.1016/j.jmst.2019.07.005
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