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出处
期刊:Cleaning World
日期:2012-01-01
被引量:1
摘要
Wet etch is a kind of chemic rinse process,which is used widely in the area of semiconductor produce.This process has several virtues,such as little scathe,simple equipment,and so on.The text expounds the process principle,and its application,analyses the central complication of affecting the etch uniformity,and puts forward the method of advancing etch uniformity.
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