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New mechanism of plasma induced damage on CMOS image sensor: Analysis and process optimization
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作者
J.-P. Carrere,
J.-P. Oddou,
S. Placé,
C. Richard,
Daniel L. Benoit,
C. Jenny,
Maxime Gatefait,
C. Aumont,
Amador Pérez‐Tomás,
F. Roy
出处
期刊：
Solid-state Electronics
[Elsevier BV]
日期：2011-07-25
卷期号：65-66: 51-56
被引量：20
标识
DOI：10.1016/j.sse.2011.06.037
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