Application of the Spectral Ellipsometry Method to Study the Processes of Atomic Layer Deposition

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作者
Andrey V. Miakonkikh,Ė. A. Smirnova,I Clemente
出处
期刊:Russian Microelectronics [Pleiades Publishing]
卷期号:50 (4): 230-238 被引量:5
标识
DOI:10.1134/s1063739721040089

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