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作者
Kaiming Sha,
Shanyue Gong,
Zhouheng Ge,
Yanbo Zhao,
Haodong Wu,
Yue Tang,
Mengjiao Zhu,
Yi Pan,
Qingyu Lin,
杜朝晖 段忆翔
出处
期刊：
Journal of Analytical Atomic Spectrometry
[Royal Society of Chemistry]
日期：2026-01-01
标识
DOI：10.1039/d6ja00344c
摘要
Sulfur hexafluoride (SF6) is widely used in semiconductor fabrication, but its high global warming potential creates a need for reliable concentration measurements in process-related gas mixtures. Herein, a laser-induced breakdown...
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