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Recent advances in design and preparation of abrasives for chemical mechanical polishing of hard-brittle materials
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作者
Qing Ma,
Xinhuan Niu,
Jiakai Zhou,
Ziliang Liu,
Mengqi Wang,
Shaobo Song,
Zheng Wu,
Bin Hu,
Jin Li,
Jiao Hong
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2026-01-01
卷期号：14 (11): 4248-4280
被引量：3
标识
DOI：10.1039/d5tc04531b
摘要
This review summarizes CMP abrasive design, properties, removal mechanisms, optimization, applications, challenges, and future directions for balancing removal rate and surface quality in ultra-precise processing of hard-brittle materials.
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