SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
Investigation of cleaning mechanisms for particle, metal ion, and organic contaminations in amorphous carbon post-CMP cleaning
数据清理
无定形碳
碳纤维
材料科学
化学工程
金属
无定形固体
水溶液中的金属离子
氯化物
硫酸
冷凝
化学
无机化学
污染
清洁剂
硫化物
比表面积
过氧化物
润滑油
作者
Ziyang Wang,
Pengzhan Liu,
Juyong Lee,
Hyeonjeong Lee,
Hyunho Kim,
H S Hwang,
Yerim An,
Taesung Kim
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2025-10-04
卷期号：717: 164803-164803
被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.164803
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Felix
完成签到，获得积分
10
刚刚
桐桐
上传了
应助文件
2秒前
momoxx
发布了新的
文献求助
10
7秒前
wolfintheshy
发布了新的
文献求助
10
7秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
轻松板栗
采纳，获得
10
7秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
硅基生物
采纳，获得
10
8秒前
深情安青
上传了
应助文件
8秒前
锦鲤
完成签到
，获得积分
10
9秒前
佳佳
完成签到
，获得积分
10
9秒前
有朋自远方来
完成签到，获得积分
10
14秒前
小刘鸭鸭
发布了新的
文献求助
10
15秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
17秒前
吃饱喝足睡大觉成大事
完成签到
，获得积分
10
17秒前
FashionBoy
的
应助
被
惜海
采纳，获得
10
23秒前
深情安青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
30
24秒前
大模型
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
24秒前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
24秒前
领导范儿
上传了
应助文件
24秒前
momoxx
完成签到，获得积分
10
25秒前
激动的严青
完成签到，获得积分
10
26秒前
完美世界
上传了
应助文件
27秒前
linnya
发布了新的
文献求助
10
27秒前
无私的寄灵
完成签到
，获得积分
10
28秒前
Jello
发布了新的
文献求助
10
29秒前
Akim
的
应助
被
含糊的笑翠
采纳，获得
10
29秒前
AA学术张总
完成签到，获得积分
20
29秒前
轻松板栗
发布了新的
文献求助
10
31秒前
小刘鸭鸭
完成签到，获得积分
10
33秒前
感性的梦露
发布了新的
文献求助
10
33秒前
zachary009
完成签到
，获得积分
10
33秒前
我是老大
上传了
应助文件
36秒前
英俊的铭
的
应助
被
外向青筠
采纳，获得
10
37秒前
kholmes
完成签到，获得积分
10
39秒前
Akim
上传了
应助文件
39秒前
大橘大李
完成签到
，获得积分
10
40秒前
辻弌
发布了新的
文献求助
10
42秒前
含糊的笑翠
发布了新的
文献求助
10
45秒前
FashionBoy
的
应助
被
小坏坏
采纳，获得
10
45秒前
英俊的铭
上传了
应助文件
45秒前
感性的梦露
完成签到，获得积分
10
45秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Essentials of Carbohydrate Chemistry and Biochemistry, 4th Edition
800
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives
800
Organizational Behavior
510
Management and the Arts
510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
CLSI VET01S-2024 Performance Standards for Antimicrobial Disk and Dilution Susceptibility Tests for Bacteria Isolated From Animals (7th Ed)
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7759331
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9304874
关于积分的说明
20283454
捐赠科研通
7343336
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3312492
关于科研通互助平台的介绍
2463073
邀请新用户注册赠送积分活动
2326522
今日热心研友
cdercder
52
140
GingerF
8
550
罗Eason
15
230
唠叨的大门
240
anugraphics
4
190
Nole
16
60
v0id
12
80
null
5
150
无极微光
8
120
今夕何夕
19
果果123
6
120
DW
11
60
OK
150
Ali
9
50
CRUSADER
3
100
Criminology34
130
秋风
5
80
swhin
8
50
潇洒的惋清
120
LUX
8
40
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
GingerF
罗Eason
唠叨的大门
anugraphics
Nole
v0id
null
无极微光
今夕何夕
果果123
DW
OK
Ali
CRUSADER
Criminology34
秋风
swhin
潇洒的惋清
LUX
皖公网安备34019202002308
