On-line detection of additive concentrations in acidic copper plating solution for metal interconnection by an electrochemical microfluidic workstation

互连 铜 电镀(地质) 电化学 微流控 工作站 金属 直线(几何图形) 材料科学 化学 纳米技术 冶金 计算机科学 电极 操作系统 电信 数学 物理 几何学 物理化学 地球物理学
作者
Yi Zhao,Juxing Zeng,Jiaqiang Yang,Tao Song,Hu Ren,Jian‐Jia Su,Bo Zhang,Fang‐Zu Yang,Dongping Zhan,Lianhuan Han
出处
期刊: [Royal Society of Chemistry]
卷期号:3 (5): 607-617 被引量:1
标识
DOI:10.1039/d5im00073d
摘要

A developed portable electrochemical microfluidic workstation enables accurate, low-volume online detection of electroplating additives (mean relative error <10%), replacing the manual cyclic voltammetry stripping (CVS) employed in lab analysis.
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