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Effects of bias voltage on the structure, mechanical properties and tribological properties of TaBx films at elevated temperatures

材料科学 微观结构 复合材料 偏压 结晶度 硼化物 韧性 退火（玻璃） 断裂韧性 溅射沉积 溅射 薄膜 电压 纳米技术 电气工程 工程类
作者
Longlong Sun,Hang Li,Ningxin Wei,Jianliang Li,Jiewen Huang,Jian Kong,Qiujie Wu,Yan Shi,Dangsheng Xiong
出处
期刊：International Journal of Refractory Metals & Hard Materials [Elsevier BV]
日期：2023-11-05 卷期号：118: 106471-106471 被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.ijrmhm.2023.106471
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