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Towards modeling of ZrO2 atomic layer deposition at reactor scale based on experimental kinetic approximation
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作者
Nhat-Minh Phung,
Minh‐Tan Ha,
Si‐Young Bae,
Soonil Lee,
Tae Joo Park,
Se‐Hun Kwon,
Seong‐Min Jeong
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2023-11-03
卷期号：646: 158840-158840
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2023.158840
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