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Improvement of Polishing Performance of Sio2/Si3n4 by Surfactants in Ceo2 Based Slurry
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作者
Xinyu Zhao,
Xinyu Han,
Fangyuan Wang,
Baimei Tan,
Yunhui Shi,
Jiadong Zhao,
Wenyue Qi,
Jiang Geng
标识
DOI：10.2139/ssrn.5268908
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