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Effects of deposition temperature on microstructure and electrical resistivity of intrinsic CVD-SiC

材料科学电阻率和电导率微观结构化学气相沉积沉积（地质）复合材料工程物理纳米技术电气工程沉积物生物工程类古生物学

作者

Jia‐Bao Liu,Zhaofeng Chen,Pan Chai,Qiang Wan

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier]
日期：2025-03-11 卷期号：51 (18): 24935-24944 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2025.03.174

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