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Integrated Tribo-Chemical Modeling of Copper CMP
作者
Shantanu Tripathi,
Seungchoun Choi,
Fiona M. Doyle,
David Dornfeld
出处
期刊:
MRS Proceedings
[Cambridge University Press]
日期:2009-01-01
卷期号:1157
被引量:2
链接
escholarship.org
escholarship.org
escholarship.org
doi.org
标识
DOI:10.1557/proc-1157-e02-03
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