Technological Status and Prospect of Oxide Thin Film Transistors

최근 저명한 국제 디스플레이 관련 전시회에서 기존의 실리콘이나 유기물반도체가 아닌 투명산화물반도체 TFT array를 적용한 디스플레이 시제품이 실용화에 근접한 수준으로 많이 전시되고 있다. 특히 올해는 a-IGZO TFT backplane을 적용한 12.1'' AMOLED 패널과 15'' AMLCD 패널이 소개되어 많은 관심을 받았다. 투명산화물반도체를 이용 한 TFT는 실제로는 6년 정도의 짧은 역사를 가지고 있다. 본고에서는 최근 개최된 국제 학회와 전시회의 발표 동향 분 석을 통해 ZnO 및 a-IGZO 투명산화물반도체의 가능성을 살펴본다. 또한 투명산화물반도체 TFT를 용액공정으로 구현한 몇 가지 사례를 소개하고, 초저가 인쇄형 공정으로의 발전 가능성에 대해 알아보기로 한다.