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Microscopic characterization of microcrystalline silicon thin films

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作者
I. Sieber,I. Urban,I. Dörfel,S. Koynov,R. Schwarz,M. Schmidt
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1996-04-01 卷期号：276 (1-2): 314-317 被引量：12
标识
DOI：10.1016/0040-6090(95)08106-2
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