Model-based signal conditioning for high-speed atomic force and friction force microscopy

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作者
Georg Schitter,Andreas Stemmer
出处
期刊:Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
卷期号:67-68: 938-944 被引量:49
标识
DOI:10.1016/s0167-9317(03)00157-6
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