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The influence of DC biasing on the uniformity of a-C:H films for three-dimensional substrates by using a plasma-based ion implantation technique
作者
Toshiya Watanabe,
Kazuhiro Yamamoto,
Osamu Tsuda,
Akihiro Tanaka,
Yoshinori Koga,
Osamu Takai
出处
期刊：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
[Elsevier BV]
日期：2003-05-01
卷期号：206: 726-730
被引量：3
标识
DOI：10.1016/s0168-583x(03)00872-3
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