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First principles study of the atomic layer deposition of alumina by TMA–H2O-process
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作者
Timo Weckman,
Kari Laasonen
出处
期刊：
Physical Chemistry Chemical Physics
[Royal Society of Chemistry]
日期：2015-01-01
卷期号：17 (26): 17322-17334
被引量：99
链接
rsc.org
nih.gov
aalto.fi
aalto.fi
doi.org
标识
DOI：10.1039/c5cp01912e
摘要
A comprehensive density functional study on the reaction mechanisms during the atomic layer deposition of alumina
via
trimethylaluminium–waterprocess.
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