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Surface Finish Enhancement of Si(100) with Single Pole Magnetic Abrasive Finishing using Chemical Oxidizers and Alumina Slurry

材料科学抛光磨料表面粗糙度泥浆薄脆饼响应面法刷子表面光洁度化学机械平面化复合材料纳米技术色谱法化学

作者

Ashwani Sharma,Kheelraj Pandey,Anoop Kumar Sood

出处

期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2024-05-24 卷期号：16 (10): 4557-4576 被引量：3

标识

DOI：10.1007/s12633-024-03018-4

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