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等离子体增强化学气相沉积
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作者
sheng Ma,
Baochen Liao,
Daxue Du,
Dong Ding,
Chao Gao,
Zhengping Li,
Qining Wang,
Xinyuan Wu,
Shuai Zou,
Xiaodong Su,
Reuben J. Yeo,
Xiang Li,
Weiming Li,
Xiangyang Kong,
Wenzhong Shen
标识
DOI：10.2139/ssrn.4685629
摘要
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