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Preparation of highly transparent and low resistive indium tin oxide thin film by direct current low-power sputtering

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作者

Xueqi Chen,Manyao Wang,Zongyu Huang,Xiang Qi

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2026-02-14 卷期号：837: 140892-140892 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2026.140892

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