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Effect of thickness scaling on the permeability and thermal stability of Ta(N) diffusion barrier

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作者
Haoyu Xu,Zhengjun Hu,Xin-Ping Qu,Hao Wan,Shen-Suo Yan,Ming Li,Shoumian Chen,Yuhang Zhao,Jing Zhang,Mikhaı̈l R. Baklanov
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2019-09-05 卷期号：498: 143887-143887 被引量：22
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2019.143887
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