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Materials removal mechanism for ultra-precise cutting of single-crystal silicon with natural single-crystal diamond tools by experiment and atomic simulation
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物理
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古生物学
作者
Houfu Dai,
Wenqiang Peng
出处
期刊：
International Journal of Refractory Metals & Hard Materials
[Elsevier BV]
日期：2024-06-28
卷期号：123: 106774-106774
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.ijrmhm.2024.106774
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