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Fabrication of Ta/TaN diffusion-barrier thin films using DC magnetron sputtering
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作者
Byeong Hwa Jeong,
Dong Woo Kim,
So Hyun Lee,
Changwoo Kang,
Long Wen,
Do Hyun Oh,
Yong Seok Jang,
Toshiya Aoyagi,
Yasuyuki Taura,
Yutaka Kokaze,
Eunjung Lee,
Sang Ho Lee,
G.Y. Yeom
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2025-10-31
卷期号：832: 140818-140818
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2025.140818
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