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Periodic atmospheric plasma substrate treatment to improve the hydrophobicity of sputtering PTFE films

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作者
Yun-Shao Cho,Shih-Chin Lin,Ching‐Chiun Wang,Yao-Tsung Yang,Ying-Rong Ho,Jung-Jie Huang
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2024-08-29 卷期号：130 (9) 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s00339-024-07838-4
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