The effect of amino acid addition in CeO2-based slurry on SiO2/Si3N4 CMP: Removal rate selectivity, morphology, and mechanism research

选择性 泥浆 形态学(生物学) 机制(生物学) 化学工程 化学 材料科学 有机化学 复合材料 催化作用 地质学 工程类 古生物学 哲学 认识论
作者
Xinyu Han,Shihao Zhang,Renhao Liu,Fangyuan Wang,Baimei Tan,Xinyu Zhao,Jiadong Zhao,Yunhui Shi
出处
期刊:Journal of Molecular Liquids [Elsevier BV]
卷期号:412: 125855-125855 被引量:23
标识
DOI:10.1016/j.molliq.2024.125855
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