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Centimeter-Scale Free-Standing Flexible 3C-SiC Films by Laser Chemical Vapor Deposition

材料科学化学气相沉积激光器薄膜化学沉积比例（比率）沉积（地质）光电子学纳米技术化学工程光学量子力学生物物理工程类古生物学沉积物

作者

Song Zhang,M. Jin,Chitengfei Zhang,Qingfang Xu,Rong Tu

出处

期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
日期：2024-10-01 卷期号：: 105303-105303 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.surfin.2024.105303

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