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作者
T. R. Groves,
D. S. Pickard,
B. Rafferty,
Nigel Crosland,
Dieter Adam,
Gerhard Schubert
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2002-07-01
卷期号：61-62: 285-293
被引量：92
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(02)00528-2
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