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作者
Matthias Brünner,
R. Schmid
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：1987-01-01
卷期号：7 (1): 41-60
被引量：6
标识
DOI：10.1016/0167-9317(87)90005-0
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